(1) Togafitiga a'o le'i faia le PVD, e aofia ai le fa'amamāina o mea ma mua'i togafiti.O auala fa'amama fa'apitoa e aofia ai le fa'amama fa'amama, fa'amama vaila'au so'o, fa'amama ultrasonic, ma le fa'amamāina o ion bombardment.
(2) Tuu i latou i totonu o le ogaumu, e aofia ai le faamamaina o potu gaogao ma mea faʻapipiʻi, ma le faʻapipiʻiina, faʻatulagaina ma fesoʻotaʻiga o mea ma mea faʻapipiʻi.
(3) Vacuuming, e masani ona pamu i le 6.6Pa pe sili atu, tatala le pito i luma o le pamu faʻasalalau muamua e faʻatumauina le pamu mama ma vevela le pamu faʻasalalau.A maeʻa ona lava le faʻamafanafanaina, e tatala le valve maualuga ma pamu i le 6 x 10-3 Pa afa pito i lalo ma se pamu faʻasalalau.
(4) Tao, tao mea i le vevela e mana'omia.
(5) Ion bombardment, o le gaogao e masani lava 10 Pa i le 10-1 Pa, o le ion bombardment voltage o se voltage maualuga le lelei o le 200 V i le 1 KV, ma o le taimi osofaʻiga o le 15 min i le 30 min.
(6) Faʻameamea muamua, fetuutuunai le taimi nei e muai faʻafefeteina mea, fetuunai le taimi nei e muai faʻafefeteina le faʻapipiʻi ma faʻamalo mo le 1min ~ 2min.Fa'asu'e fa'aputu.E fetuutuuna'i le taimi e fa'asao ai pe a mana'omia se'ia uma le taimi e fa'aputu ai.Fa'alili, o mea e fa'alili i se vevela fa'apitoa i totonu o le potu vacuum.
(7) A maeʻa ona ave i fafo mea, ua tapunia le potu gaogao, faʻamalo le vacuum i l × l0-1Pa, ma faʻafefeteina le pamu faʻasalalau i le vevela faʻatagaina aʻo leʻi mafai ona tape le pamu tausiga ma le vai malulu.